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API激光干涉儀線性定位誤差測量

API激光干涉儀線性定位誤差測量

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API激光干涉儀線性定位誤差測量
一次安裝能測量6項精度指標
包括線性定位誤差、 XX及YY兩個方向直線度、
偏擺角、俯仰角、滾動角
把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
兩點調光線. 無需三腳架. 測量調整簡單快速

API激光干涉儀線性定位誤差測量的詳細資料:

API激光干涉儀線性定位誤差測量

 

 

舊的方法:

激光頭安裝在機床工作臺之外,機床所受的震動干擾和激光頭的不同,產(chǎn)生測量誤差。特別是在帶有空氣彈簧減震系統(tǒng)的機器上
三點對光,操作復雜
依靠電腦上的光強條的強弱來對, 余弦差較大

API XD干涉儀的測量方法:
一次安裝也可同時測量其它五個參數(shù);
利用電腦中的直線度實時顯示,
數(shù)字化去除余弦差,測量準確;

兩點調光,對光迅速

 

主要特點:

一次安裝能測量6項精度指標
包括線性定位誤差、 XX及YY兩個方向直線度、
偏擺角、俯仰角、滾動角
把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
兩點調光線. 無需三腳架. 測量調整簡單快速
傳統(tǒng)激光干涉儀測量20項精度指標(三軸),約需3天的時間; API干涉儀只約需半天!
測量直線度/小角度/垂直度/轉臺時, 不怕斷光, 可當自準直儀用, 用于機床裝配調試

 

技術參數(shù)

5D/6D標準型: 
1. 線性:0.5ppm 
2. 測量范圍:40米(1D可選80米) 
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值 
4. 大范圍:800角秒 
5. 滾動角精度:1.0角秒 
6. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值 
7. 大范圍:500um 
8. 垂直度精度:1角秒 
9. 溫度:0.2攝氏度 
10.濕度:5% 
11.壓力:1mmHg 

5D/6D精密型: 
1. 線性:0.2ppm 
2. 測量范圍:25米 
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.5+0.05/m)角秒或1%顯示較大值 
4. 大范圍:400角秒 
5. 滾動角精度:0.5角秒 
6. 直線度精度:(0.5+0.1/m)um或1%顯示較大值 
7. 大范圍:300um 
8. 垂直度精度:0.5角秒 
9. 溫度:0.1攝氏度 
10.濕度:3% 
11.壓力:0.3mmHg 


5D/6D高精密型: 
1. 線性:0.2ppm 
2. 測量范圍:根據(jù)用戶要求而定 
3. 偏擺角和俯仰角的精度:(0.2+0.02/m)角秒 
4. 大范圍:500角秒 
5. 滾動角精度:0.5角秒 
6. 直線度精度:(0.2+0.05/m)um 
7. 大范圍:100um 
8. 垂直度精度:0.5角秒 
9. 溫度:0.1攝氏度 
10.濕度:3% 
11.壓力:0.3mmHg


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